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广东海川机器人丨气浮运动平台之QFR系列气浮旋转台

放大字体  缩小字体 发布日期:2023-02-11 09:44:07



在国家大力发展高端制造,鼓励发展自主品牌的大背景下,由多年从事精密运动平台研发和生产的技术人员共同组建成立。团队具有多年核心部件研发经验,拥有多种高端应用领域经验,成熟的产品应用案例。经过多年精密运动平台的技术积累和沉淀,已形成了一整套完备的精密运动平台系统的研发和生产体系。特别在气浮理论计算、实验仿真分析、结构优化设计、精密集成组装和测试等方面具备雄厚的实力。



背景介绍backgroundintrodution



qfr系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。qfr的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、x射线衍射系统、光学检测和制造以及mems/纳米技术设备制造等高端行业。




密封式设计sealeddesigning



对qfr直驱旋转台进行了优化设计,使工作台面降到,这种设计结构有效的降低了工作点的高度,减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重,不仅有较低的轴向和径向端跳误差,而且倾角误差比较小,由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴,有利于各种应用。



非接触式结构non-contactstruture





qfr采用无齿槽无电机和气浮轴承,限度的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计,以 小的热量产生高扭矩输出,无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,这使得qfr非常适合在低速或高速下平滑旋转等应用。




高精度性能highprecisionperformance



气浮转台采用精密圆光栅反馈,先进的驱动控制对光栅信号细分,分辨率达0.01角秒,轴向跳动误差

<80nm。





定制化设计customdesign





气浮转台可安装滑环,用于空间模拟装置,mems和惯性导航等应用。





注:1.空气供应需清洁,干燥至0°f露点,灰尘颗粒过滤≤0.25um或纯度99.99%氮气。

2.以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上25mm处,测试环境温度20±1℃,湿度40%-60%rh.



 
(文/小编)
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