11月18日消息,据国外媒体报道,作为当前全球唯一能向芯片制造商供应极紫外光刻机的厂商,阿斯麦已推出了TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D等多个型号的极紫外光刻机,在源源不断的向台积电、三星电子等客户交付。
而除了TWINSCAN NXE系列的极紫外光刻机,阿斯麦也在研发高数值孔径极紫外光刻机,以应对2nm及以下更先进的制程工艺。
对于高数值孔径极紫外光刻机,阿斯麦的CEO兼总裁彼得·维尼克本周在韩国首尔的一场新闻发布会上透露,将在2024年开始出货,每台的价格在3亿到3.5亿欧元。
就彼得·维尼克透露的价格而言,高数值孔径极紫外光刻机的售价,要远高于他们目前在交付的TWINSCAN NXE系列极紫外光刻机。
阿斯麦的财报显示,他们在今年二季度和三季度完成交付的极紫外光刻机均是12台,就他们给出的营收及占比来计算,二季度平均每台的价格约1.66亿欧元,三季度的平均价格约为1.81亿欧元,均在2亿欧元以下。
从阿斯麦官网所公布的消息来看,他们的高数值孔径极紫外光刻机,将命名为EXE系列,数值孔径将由0.33增至0.55,已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200两个型号,前者在2018年就已开始获得客户的订单,后者从去年四季度也开始获得订单。