英特尔在爱尔兰莱克斯利普的工厂Fab 34已经交付了其首台EUV光刻机,该设备由ASML制造,是Intel 4制程技术的关键一环,这也使得Fab 34成为欧洲最先进的芯片制造工厂。
据eeNews报道,第一台设备从英特尔位于俄勒冈州的技术开发工厂抵达爱尔兰,这意味着fab 34将成为工厂外第一个运行新EUV技术的工厂。
该设备由10万个部件、3000根电缆、4万个螺栓和超过1英里长的软管组成。英特尔花了18个月的设计和施工活动,为Fab 34大楼接收这台机器做准备。
该建筑围绕光刻机进行设计,后者跨越了工厂的四层,包含一个内置的起重机,延伸到3米高的天花板,还需要大约700个电力、机械、化学和气体供应的连接点。