三氟甲烷虽然不破坏臭氧层，但其全球变暖潜能值（GWP）高，是一种强温室气体。
三氟甲烷，化学式为CHF3，也称为氟仿，外观为无色气体状，几乎无气味。三氟甲烷性质稳定，可溶于水，可溶于丙酮、无水乙醚、甲醇等部分有机溶剂，不导电，不可燃烧，但在高温条件下可受热分解，分解产物为有毒氟化氢气体。
根据新思界产业研究中心发布的《2021－2025年三氟甲烷行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，三氟甲烷，是一种氟代烷烃（HFC），也可称为HFC－23，由于消耗臭氧潜能值（ODP）为零，可取代氯氟烃（CFC）例如CFC－13用作低温制冷剂、灭火剂。三氟甲烷也可用作超临界萃取溶剂，以及有机合成中间体，用来制取四氟乙烯等产品。在电子产业中，三氟甲烷可用作等离子体化学蚀刻剂，在二氧化硅膜刻蚀方面具有速度快、选择性优等特点。
在海外市场中，三氟甲烷生产商主要有，法国液化空气集团（Air Liquide）、德国林德集团（Linde Group）、德国默克集团（Merck Group）、美国普莱克斯（Praxair）、美国空气产品（Air Products）、日本昭和电工（Showa Denko）、日本关东电化学（Kanto Denka Kogyo）、韩国SK Materials等；在我国市场中，三氟甲烷生产商主要有苏州金宏气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司等。
我国三氟甲烷生产商主要包括，专业气体公司、氟化工企业两大类，三氟甲烷制取的一个重要途径是氟化工行业副产物提纯，是以二氟一氯甲烷R－22（CHClF2）制备过程中的副产物为原料，通过精馏等工艺制得。三氟甲烷虽然不破坏臭氧层，但其全球变暖潜能值（GWP）高，是一种强温室气体。
2021年9月15日，《〈关于消耗臭氧层物质的蒙特利尔议定书〉基加利修正案》对我国正式生效，生态环境部办公厅发布《关于控制副产三氟甲烷排放的通知》，二氟一氯甲烷（HCFC－22）或氢氟碳化物（HFCs）生产过程中副产的三氟甲烷（HFC－23）不得直接排放；除作为原料用途和受控用途使用外，副产HFC－23应采用缔约方大会核准的销毁技术尽可能销毁处置。
新思界行业分析人士表示，与国外企业相比，国内三氟甲烷生产商在高纯产品生产方面实力较弱，电子级三氟甲烷需求对外依赖度较大。在R－22生产过程中，副产物三氟甲烷产量较大，三氟甲烷具有较高利用价值，若直接销毁处理不仅浪费资源，也不利于企业提高营收能力，因此副产物回收再利用前景好。但我国缺少的是电子级三氟甲烷，副产物三氟甲烷如何低成本、高效率的提纯得到电子级三氟甲烷是行业未来发展所需关注的重点。
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三氟甲烷电子产业
