其，研究电真空零部件的表面清洗处理是很有必要。因为污染物所造成的气体、蒸汽源会使真空系统不能获得所要求的真空度。此外，由于污染物的存在，还会影响电真空部件连接触的强度和密封的性能，对电真空器件的性能有极大的影响。
电真空器件污染物的主要来源：
1、在加工原材料过程中，所使用的润滑油；
2、操作人员手上的脏物和唾液，因为在制造电真空器件，主要靠人力手动完成装配，工作时不可避免的对零部件造成污染；
3、去油过程中溶剂的残留物，例如：自来水中的盐类和有机物质，金属零件使用的金属去油剂等；
4、零部件存放时，空气中含有的灰尘、水蒸汽等。
深圳威固特VGT-509FHA全自动智能式超声波清洗机烘干机：
概述：
设备共有5个功能槽，配置有抛动系统、循环过滤系统、自动恒温系统、定时系统、自动智能式机械手、热风烘干系统等。设备采用环保型水溶剂洗涤、纯水漂洗，为环保型自动智能型清洗烘干机。
清洗过程中工件通过超声波高频产生的“气化现象”的冲击和系统自身不停地作上下运动，增加了液体的摩擦，从而使工件表面的污垢能够迅速脱落，实现其高清洁度的目的。
设备各部分配置：
水剂清洗槽：
1、槽体设四面溢流口，溢水槽宽35 mm，槽体为独立循环槽， 由循环泵将洗剂从储液箱抽出经过滤后再运回清洗槽，即子母槽循环；
2、设置独立循环过滤系统；
3、各槽底部设排液阀且与1槽串联连至独立排管；
4、槽内设温度感应器，温控范围：RT-100℃。
过滤循环系统的结构：
1、泵前加可拆卸式过滤筛网，泵后安装过滤器；
2、过滤器前装水压力表一只，提示需更换或清洗过滤器。
热风烘干槽结构：
烘干槽配置一套气缸，气缸带动钢化玻璃一起运动，形成密封盖。
FFU压风系统：
结构：
在烘干槽正上方的机架顶部设置一个FFU层流送风单元。由上往下吹风形成负压风，致使工件加热后附附着物不易粘附。
功能：
1、因慢拉槽液温较高,如无顶部的FFU压风,大量的水汽将往上腾, 水气会再次附着于提出的玻璃上；安装FFU后,可在上方形成局部正压,大部分水汽从缸面的抽气口抽走；
2、风量加大并可调节。
抛动机构：
形式：
1、抛动电机通过偏心轮带动线性滑块上下运动，从根本上保证抛动的连续性，减少抛动的摩擦阻力，杜绝因工件过重而损坏抛动系统，从而实现抛动架带动洗篮在清洗槽内作上下运动；
2、运行稳定性好，噪声小。
原理：
清洗过程中工件作均匀地抛动，可以增加工件与液体的磨擦，有利于表面污垢迅速脱落，提高清洗效果。
运输、安装调试及技术服务：
1、运输：供方负责，需方负责设备到厂后的现场就位工作；
2、供方负责安装调试，随设备到需方现场安装调试，供方配合需方试清洗及观察3天；
3、提供从设备验收合格之日起1年的免费技术支持及服务，对非人为损坏或自然灾害等造
成的损坏，保证省内24小时内响应，省外48小时内响应；保修期过后，实行以人工旅差费+材料费结算的优惠维修服务。
